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硅溶胶在磷化铟中主要应用于化学机械抛光（CMP）过程，具体如下：
- 适用于中间抛光和精抛：硅溶胶中二氧化硅的莫氏硬度为7，对磷化铟的去除作用较为温和，在CMP过程中不会对磷化铟表面造成过多损伤，适合在磷化铟的中间抛光和精抛阶段使用，有助于获得极低的表面粗糙度和较少的表面缺陷。
- 化学兼容性好：硅溶胶不易与磷化铟及抛光液中的其他化学成分发生剧烈反应，减少了化学腐蚀引起的表面损伤，有助于保持抛光液的稳定性和磨料的切削性能。
- 确保均匀抛光：硅溶胶磨料在抛光液中具有良好的分散性和稳定性，能均匀地分布在磷化铟表面，实现均匀的去除效果，避免局部过度抛光或欠缺抛光的情况。
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